涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的机械真空泵。工作压力范 围10_8〜IPa,抽气速率在5000L/S以下，性能优良的真空泵可以获得10_9〜IPa的极 限真空，泵的转速为l0000到50000r/min，其抽速范围很宽，在九个数置级间具有恒定的抽速。分子泵主要用作超髙真空和髙真空泵，但它不能对大气直接排气，需要配置前级泵，并用其主要性能（如极限真空和抽速）都和配置的前级泵的容量、转数、被抽气 体的种类有关。分子泵对较轻的气体抽速较大，对氢的抽速比对空气的抽速大20%。
 
　　在以机械形式运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构精密、工艺要求髙的泵。泵的 动、静叶片的几何形状与抽速有很大关系，需要特殊的工艺加工来保证叶片的尺寸和精度。 同时要求转子有很好的动平衡，动叶片应具有高强度以承受髙速转动产生的离心力，保证泵 的运转可靠。
 
　　国内生产的分子泵型号为F系列涡轮式分子真空泵（简称涡轮分子泵它的性能特点 是：结构紧凑，分子泵由置于泵体内的中频电动机直接驱动，涡轮转子为整体式结构；该泵 对大分子量的气体有较高的压缩比，且中频电动机置于前级空间，能获得清洁的高真空和超 髙真空；工作压力范围宽，在lCT7Pa范围内具有稳定的抽速工作平稳，由于采用了精密轴 承，严格的动平衡工艺和一系列的减振措施，使泵振动小，噪声低；启动时间短，一般在4〜 15min内能达到满抽速，标准化的法兰连接尺寸、垂直结构，.使其便于与真空系统连接。适 用于要求清洁的高真空和超髙真空的仪器设备。如髙能加速器、核聚变反应装置、宇航模拟、真空镀膜、真空冶炼、半导体提纯、大型电子管排气等。
 
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